在醫療領域應用的等（děng）離子體滅菌技術於20世紀80年（nián）代（dài）始於美（měi）國（guó），Menashi等首先提出鹵素類氣體等離子體具有很強的殺菌作用（yòng），可用於（yú）非耐熱醫療器械（xiè）的快（kuài）速滅菌，低溫等（děng）離子體滅菌技術（shù）1987年獲得（dé）。
美國強生公司研製的Starrad 100S*等離子體滅菌器，於1997年經FDA批準上市。現已（yǐ）在歐美、日本等發達國家醫療機構微創手術中廣（guǎng）泛使用。
2004年開始在我國推廣宣傳，已有幾十家大型醫療單位（wèi）開始使用。由此也使得（dé）等離子體低溫滅菌技術在我國醫療領域的（de）使用得到（dào）廣泛的認同。